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      掃描電鏡等離子清洗機

      簡要描述:CIF 掃描電鏡等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

      • 產品型號:CIF-SEM
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2023-09-13
      • 訪  問  量:3084

      詳細介紹

      品牌CIF產地類別國產
      應用領域醫療衛生,環保,生物產業,地礦,能源

      CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

       

      掃描電鏡等離子清洗機產品特點

      v 雙等離子清洗源

      v 一機多用

      v 高效低損傷


      掃描電鏡等離子清洗機技術參數

      產品型號

      CIF-SEM

      法蘭接口

      KF40

      工作氣壓

      0.3-3Pa

      等離子電源

      13.56MHz射頻電源,射頻功率5-100W可調,自動匹配器

      氣體控制

      標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器(MFC),精確測量自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

      氣源選擇

      根據需求可選擇氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源

      真空控制

      美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

      真空保證

      真空計和電磁閥安全互鎖

      操控方式

      7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

      電源/功率

      220V,50/60Hz,300W

      可選配件

      可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min

      質量保證

      二年質保,終身維護

       

       

       

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